3D-Oberflächenmessplatz FORM TALYSURF 120 PC

FORM TALYSURF 120 PC, Taylor Hobson

  • Vorschublänge 120 mm
  • Meßbereich 1 mm, Auflösung 32 nm
  • Meßbereich 2 mm, Auflösung 64 nm bzw.
  • Meßbereich 28 mm
  • Software:
    • Rauheit, Welligkeit, Form
    • Kontur
    • 3D-Oberfläche

y-Verschiebetisch, Newport

  • Verfahrbereich 150 mm
  • min. Schrittweite 1 µm

Laserfokussensor MICROFOKUS, UBM

  • Meßbereich 1 mm

Letzte Änderung: 11.06.2012 - Ansprechpartner:

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